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產(chǎn)品系統(tǒng)NEWS CENTER

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首頁(yè)-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀

SE-VF 光譜橢偏儀

簡(jiǎn)要描述：針對(duì)微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量定制的專用型光譜橢偏儀

產(chǎn)品型號(hào)：  更新時(shí)間：2025-04-27  瀏覽次數(shù)：4767

  • 廠家實(shí)力

    Manufacturer Strength

  • 有效保修

    Valid Warranty

  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

一、概述

SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀，其采用 1  超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù)， 2 定制超快測(cè)量速度等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量，適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。


二、特色功能

■ 可定制光斑尺寸，最小可達(dá)30um；

■ 超快測(cè)量，單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ；

■ 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；

■ 結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測(cè)量。

三、測(cè)量實(shí)例

捕獲.JPG微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量

捕獲.JPG

四、應(yīng)用場(chǎng)景 

應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量，適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。

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